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| 082 | _bMAD | ||
| 100 | 1 | _aMadou, Marc J. | |
| 245 | 0 | 0 | _aFundamentals of microfabrication |
| 250 | _a2. ed. | ||
| 260 |
_aBoca raton [u.a.] _bCRC Press _c2011 |
||
| 300 |
_a723 S. _bzahlr. Ill. und graph. Darst. |
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| 650 | 0 | 7 | _aMikrofertigung |
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