TY - BOOK AU - Mahalik Nitaigour Premchand AU - Oliver Paul TI - MEMS SN - 9780070634459 U1 - 621.31 PY - 2015/// CY - New Delhi PB - Mc Graw Hill N1 - Book UR - http://proxy.lib.ltu.se/login?url=http://link.springer.com/openurl?genre=book&isbn=978-3-540-21117-4 UR - http://ludwig.lub.lu.se/login?url=http://link.springer.com/openurl?genre=book&isbn=978-3-540-21117-4 ER -