TY  - BOOK
AU  - Jan G.Korvink
AU  - Oliver Paul
TI  - MEMS
PY  - 2006///
PB  - Springer Verlag
N1  - Book
UR  - http://proxy.lib.ltu.se/login?url=http://link.springer.com/openurl?genre=book&isbn=978-3-540-21117-4
UR  - http://ludwig.lub.lu.se/login?url=http://link.springer.com/openurl?genre=book&isbn=978-3-540-21117-4
ER  -