TY  - BOOK
AU  - Madou,Marc J.
TI  - Fundamentals of microfabrication
SN  - 0849308267
PY  - 2011///
CY  - Boca raton [u.a.]
PB  - CRC Press
KW  - Mikrofertigung
KW  - Fertigungstechnik
KW  - Lithographie <Halbleitertechnologie>
KW  - Mikrosystemtechnik
ER  -